HVG-2020B宽范围真空测量仪

可选触摸屏显示，宽范围，灵活真空控制！

HVG-2020B宽范围，双传感器真空计需要测量到下一个级别。通过压电的传感器和热基的Pirani传感器精确，可自信地测量七十年的压力。压电传感器是隔离的介质，气体组成独立，由Pirani传感器定期归零。环境热传感器使仪器能够调整温度，从而更好的准确性。

可选的触摸屏显示，免费Windows数据采集软件和各种数字通信路径使HVG-2020B灵活和用户友好。无论您是需要USB，RS 232，RS 485，线性或记录输出，图形显示数据采集日志记录，此宽范围计可以执行。

• 半导体蚀刻
  
• 溅射室
• 加载锁定系统
  
• 过程控制和测试
• 等离子体涂层
  

规格

范围	0.1 mtorr - 1000托
准确性*：	10 Torr - 1000托 1 mtorr - 10托 0.2 mtorr - 1 mtorr	+（读数+0.3托的0.1％） +（5％的阅读+0.25 mtorr） +（10％的读数+0.25 mtorr）
工作温度：	-20-70O.C
模拟输出（电压）：	0-1 VDC，0-5 VDC，0-10 VDC线性和日志
模拟输出（电流）：	0-20 mA，4-20 mA
输入电压：	12-36 VDC.
湿润材料：	304和316L不锈钢，玻璃，尼，Au
过程控制设定值	双TTL（高低）
*包括非线性，滞后，在环境工作温度下的重复性2小时热量，然后进行零调整。

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P.啮盘公告

• HVG-2020B.
• THCD-101.

产品手册

• THCD-101.
  
• HVG-2020B.

软件/固件

• THCD-101软件terface.
• HVG-2020B Windows™软件

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