HVG-2020B宽范围真空测量仪

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可选触摸屏显示,宽范围,灵活真空控制!

HVG-2020B宽范围,双传感器真空计需要测量到下一个级别。通过压电的传感器和热基的Pirani传感器精确,可自信地测量七十年的压力。压电传感器是隔离的介质,气体组成独立,由Pirani传感器定期归零。环境热传感器使仪器能够调整温度,从而更好的准确性。

可选的触摸屏显示,免费Windows数据采集软件和各种数字通信路径使HVG-2020B灵活和用户友好。无论您是需要USB,RS 232,RS 485,线性或记录输出,图形显示数据采集日志记录,此宽范围计可以执行。


应用和行业
  • 半导体蚀刻
  • 溅射室
  • 加载锁定系统
  • 过程控制和测试
  • 等离子体涂层

规格

范围 0.1 mtorr - 1000托
准确性*: 10 Torr - 1000托
1 mtorr - 10托
0.2 mtorr - 1 mtorr
+(读数+0.3托的0.1%)
+(5%的阅读+0.25 mtorr)
+(10%的读数+0.25 mtorr)
工作温度: -20-70O.C
模拟输出(电压):
0-1 VDC,0-5 VDC,0-10 VDC线性和日志

模拟输出(电流):
0-20 mA,4-20 mA
输入电压: 12-36 VDC.
湿润材料: 304和316L不锈钢,玻璃,尼,Au
过程控制设定值
双TTL(高低)
*包括非线性,滞后,在环境工作温度下的重复性2小时热量,然后进行零调整。

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P.啮盘公告

产品手册

软件/固件

相关产品

零件号 描述
12-01-169.
24 THCD-101或HVG-2020A的VDC开关电源

12-01-160
AC输入剪辑,美国

12-01-165.
AC输入剪辑,英国

12-01-164
交流输入剪辑,欧洲/中国


CB-LDS-XXX-HVG9M

HVG-2020电缆(9针)到裸铅


CB-RS232-TRRS
串行通信电缆


CB-USB-MICRO-B
USB电缆