注意:
HPM 2002已停止并替换为HVG-2020B。


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规格

规范
台式/面板安装
HPM 2002.
传感器安装
HPM-2002 Obe
真空系列
0.0001 - 1000托
(0.1 mtorr - 1000托)
0.0001 - 1000托
(0.1 mtorr - 1000托)
准确性
读数50 - 1000的+/- 1.5%
+/- 20%的阅读0.001 - 50 托尔
+/- 1.5%的RE Ading 50 - 1000托
+/- 20%的阅读0.001 - 50托
传感器类型:直接力(天然气组成独立) 压阻:32 - 1000托 压阻:32 - 1000托
传感器类型:导热率(依赖于气体组成) Micromachined Pirani:0.0001 - 8托 Micromachined Pirani:0.0001 - 8托
微处理器计算8到32托之间的加权平均值 微处理器计算8到32托之间的加权平均值
传感器部件号
(分开售卖)
1/8“NPT(STD)
1/4“vcr.
1.33 Conflat法兰
2.75 Conflat法兰
KF-16.
KF-25.
1/2“OD光滑管
1/2“vcr.
(包括)
1/8“NPT(STD)
1/4“vcr.
1.33 Conflat法兰
2.75 Conflat法兰
KF-16.
KF-25.
1/2“OD光滑管
1/2“vcr.
显示 3位LED浮点Mantissa Plus 2位数指数 4位LED浮点
单位
前面板可选择
托尔
曼巴里
pa
订购时指定
面板切口
1/4“DIN.
W - 3.75“
H - 3.75“
标准输出
单通道
每十年线性(1.0 - 4.5 VDC)
双通道
线性(0 - 10 VDC)

相关产品

零件号 描述 图片
HPM-2002诊断 诊断管
CB 2002 D01. 电缆,2米,HPM-2002
CB 2002 D02 电缆,5米,HPM-2002
HPM-2002-OBE-PS HPM-2002 OBE电源(100 - 240 VAC至15 VDC)
HPM-2002-OBE粗鲁化 HPM-2002坚固耐用的传感器Mount To Electronics
CB-RS232-RJ12 HPM-2002 OBE电缆RS232,9针D RJ12
65-724. 分子筛过滤器

概要

屡获殊荣的2002系列宽范围,双传感器真空计,有两种安装风格,面板安装或传感器安装。

HPM-2002,双传感器真空仪,是面板安装仪,带有微处理器的显示单元,规格管和互连电缆。两个传感元件(微加工的Pirani和压阻传感器),提供精确的真空测量超过7数十年的压力,从1×10-4到1000托。驻留在微处理器中的算法确保了传感器之间的无缝过渡。HPM-2002-OBE,双传感器真空仪,是一种仪表的系统安装版本。HPM-2002-OBE提供了紧凑的配置中2002系列的所有性能功能,选择了12个信号输出选项。

应用程序
  • 半导体蚀刻
  • 溅射室
  • 加载锁定系统
  • 过程控制和测试
  • 等离子体涂层