真空测量和控制
注意：
HPM 2002已停止并替换为HVG-2020B。

点击此处查看HVG-2020B的更多信息。


规格

规范
台式/面板安装
HPM 2002.
传感器安装
HPM-2002 Obe
真空系列
0.0001 - 1000托
（0.1 mtorr - 1000托）
0.0001 - 1000托
（0.1 mtorr - 1000托）
准确性
读数50 - 1000的+/- 1.5％
+/- 20％的阅读0.001 - 50 托尔
+/- 1.5％的RE Ading 50 - 1000托
+/- 20％的阅读0.001 - 50托
传感器类型：直接力（天然气组成独立） 压阻：32 - 1000托 压阻：32 - 1000托
传感器类型：导热率（依赖于气体组成） Micromachined Pirani：0.0001 - 8托 Micromachined Pirani：0.0001 - 8托
微处理器计算8到32托之间的加权平均值 微处理器计算8到32托之间的加权平均值
传感器部件号
（分开售卖）
1/8“NPT（STD）
1/4“vcr.
1.33 Conflat法兰
2.75 Conflat法兰
KF-16.
KF-25.
1/2“OD光滑管
1/2“vcr.
（包括）
1/8“NPT（STD）
1/4“vcr.
1.33 Conflat法兰
2.75 Conflat法兰
KF-16.
KF-25.
1/2“OD光滑管
1/2“vcr.
显示 3位LED浮点Mantissa Plus 2位数指数 4位LED浮点
单位
前面板可选择
托尔
曼巴里
pa
 订购时指定
面板切口
1/4“DIN.
W - 3.75“
H - 3.75“
标准输出
单通道
每十年线性（1.0 - 4.5 VDC）
双通道
线性（0 - 10 VDC）

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P.啮盘公告

产品手册

视频

软件/ 2002系列LabVIEW界面

相关产品

零件号 描述 图片
HPM-2002诊断 诊断管
CB 2002 D01. 电缆，2米，HPM-2002
CB 2002 D02 电缆，5米，HPM-2002
HPM-2002-OBE-PS HPM-2002 OBE电源（100 - 240 VAC至15 VDC）
HPM-2002-OBE粗鲁化 HPM-2002坚固耐用的传感器Mount To Electronics
CB-RS232-RJ12 HPM-2002 OBE电缆RS232，9针D RJ12
65-724. 分子筛过滤器

概要

屡获殊荣的2002系列宽范围，双传感器真空计，有两种安装风格，面板安装或传感器安装。

HPM-2002，双传感器真空仪，是面板安装仪，带有微处理器的显示单元，规格管和互连电缆。两个传感元件（微加工的Pirani和压阻传感器），提供精确的真空测量超过7数十年的压力，从1×10-4到1000托。驻留在微处理器中的算法确保了传感器之间的无缝过渡。HPM-2002-OBE，双传感器真空仪，是一种仪表的系统安装版本。HPM-2002-OBE提供了紧凑的配置中2002系列的所有性能功能，选择了12个信号输出选项。

应用程序
  • 半导体蚀刻
  • 溅射室
  • 加载锁定系统
  • 过程控制和测试
  • 等离子体涂层


关于Tele亚博存款提款技巧dyne Hastings.

亚博存款提款技巧Teledyne Hastings Instruments是一种可信赖的品种真空仪器和气体质量流量仪器的可信制造商。我们的真空产品系列包括原始的DV-4和DV-6热电偶计管，以及其他真空传感器，与仪表和控制器组合使用，涵盖从大气到超高真空的各种真空压力。仪表和控制器的气体质量流量线覆盖了5个SCCM至15,000 SLM的广泛流速，包括输出，校准和配件的各种柔性选项。

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