真空测量与控制

HPM2002系列真空计


注意:
HPM 2002已停产，并由HVG-2020B替代。

有关HVG-2020B的更多信息，请单击此处。



规格

规范
台式/面板安装
HPM 2002
传感器安装
HPM-2002 OBE
真空范围
0.0001-1000托
(0.1 mTorr - 1000 Torr)
0.0001-1000托
(0.1 mTorr - 1000 Torr)
精度
+/-读数50-1000的1.5%
+/- 20%读数0.001 - 50 托尔
+/-可再生能源的1.5% 50-1000托
+/-读数0.001-50托的20%
传感器类型：直接力（与气体成分无关） 压阻式：32-1000托 压阻式：32-1000托
传感器类型：热导率（取决于气体成分） 微机械皮拉尼：0.0001-8托 微机械皮拉尼：0.0001-8托
微处理器计算的加权平均值在8到32托之间 微处理器计算的加权平均值在8到32托之间
传感器零件号
(单独出售)
1/8“不扩散核武器条约》(STD)
1/4英寸录像机
1.33接合法兰
2.75接合法兰
KF-16
KF-25
外径1/2“光滑管
1/2英寸录像机
（包括在内）
1/8“不扩散核武器条约》(STD)
1/4英寸录像机
1.33接合法兰
2.75接合法兰
KF-16
KF-25
外径1/2“光滑管
1/2英寸录像机
展示 3位LED浮点尾数加2位指数 4位LED浮点
单位
前面板可选择的
托尔
mbar
帕
 在订购时指定
面板断路
1/4“DIN
W-3.75“
H-3.75“
标准输出
单通道
每十年线性（1.0-4.5 VDC）
双通道
线性(0 - 10vdc)

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产品公告

产品手册

视频

软件/ 2002系列LabVIEW接口

相关产品

零件号 描述 形象
HPM-2002诊断 诊断管
2002年CB D01 电缆，2米，HPM-2002
2002年CB D02 电缆，5米，HPM-2002
hpm - 2002 - obe - ps OBE电源(100 - 240 VAC to 15 VDC)
hpm - 2002 obe加固的 HPM-2002坚固的传感器安装到电子
CB-RS232-RJ12 HPM-2002 OBE电缆RS232，9针D RJ12
65-724 分子筛过滤

概述

获奖的2002系列宽范围，双传感器真空表，可提供两种安装风格，面板安装或传感器安装。

HPM-2002，双传感器真空表，是一种面板安装仪表，具有基于微处理器的显示单元，表管和互连电缆。两个传感元件(微机械皮拉尼和压阻传感器)，提供精确的真空测量超过70年的压力从1 × 10-4到1000托。驻留在微处理器中的算法确保了传感器之间的无缝过渡。该HPM-2002-OBE，双传感器真空压力表，是一个系统安装版本的压力表。HPM-2002-OBE在紧凑的配置中提供了2002系列的所有性能特点，您可以选择12个信号输出选项。

应用程序
  • 半导体蚀刻
  • 溅射室
  • 装载锁定系统
  • 过程控制和测试
  • 等离子涂层


关于Tele亚博存款提款技巧dyne Hastings

亚博存款提款技巧Teledyne Hastings Instruments是一家值得信赖的高质量真空仪表和气体质量流量仪表的制造商。我们的真空产品线包括原装DV-4和DV-6热电偶计量管，以及其他真空传感器，与仪表和控制器结合使用，可覆盖来自不同区域的各种真空压力t大气至超高真空。仪表和控制器的气体质量流量线涵盖从5 sccm到15000 slm的广泛流量范围，包括各种灵活的输出、校准和配件选项。

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