HPM2002系列真空计


注意:
HPM 2002已停产,并由HVG-2020B替代。

有关HVG-2020B的更多信息,请单击此处。





规格

规范
台式/面板安装
HPM 2002
传感器安装
HPM-2002 OBE
真空范围
0.0001-1000托
(0.1 mTorr - 1000 Torr)
0.0001-1000托
(0.1 mTorr - 1000 Torr)
精度
+/-读数50-1000的1.5%
+/- 20%读数0.001 - 50 托尔
+/-可再生能源的1.5% 50-1000托
+/-读数0.001-50托的20%
传感器类型:直接力(与气体成分无关) 压阻式:32-1000托 压阻式:32-1000托
传感器类型:热导率(取决于气体成分) 微机械皮拉尼:0.0001-8托 微机械皮拉尼:0.0001-8托
微处理器计算的加权平均值在8到32托之间 微处理器计算的加权平均值在8到32托之间
传感器零件号
(单独出售)
1/8“不扩散核武器条约》(STD)
1/4英寸录像机
1.33接合法兰
2.75接合法兰
KF-16
KF-25
外径1/2“光滑管
1/2英寸录像机
(包括在内)
1/8“不扩散核武器条约》(STD)
1/4英寸录像机
1.33接合法兰
2.75接合法兰
KF-16
KF-25
外径1/2“光滑管
1/2英寸录像机
展示 3位LED浮点尾数加2位指数 4位LED浮点
单位
前面板可选择的
托尔
mbar
在订购时指定
面板断路
1/4“DIN
W-3.75“
H-3.75“
标准输出
单通道
每十年线性(1.0-4.5 VDC)
双通道
线性(0 - 10vdc)

相关产品

零件号 描述 形象
HPM-2002诊断 诊断管
2002年CB D01 电缆,2米,HPM-2002
2002年CB D02 电缆,5米,HPM-2002
hpm - 2002 - obe - ps OBE电源(100 - 240 VAC to 15 VDC)
hpm - 2002 obe加固的 HPM-2002坚固的传感器安装到电子
CB-RS232-RJ12 HPM-2002 OBE电缆RS232,9针D RJ12
65-724 分子筛过滤

概述

获奖的2002系列宽范围,双传感器真空表,可提供两种安装风格,面板安装或传感器安装。

HPM-2002,双传感器真空表,是一种面板安装仪表,具有基于微处理器的显示单元,表管和互连电缆。两个传感元件(微机械皮拉尼和压阻传感器),提供精确的真空测量超过70年的压力从1 × 10-4到1000托。驻留在微处理器中的算法确保了传感器之间的无缝过渡。该HPM-2002-OBE,双传感器真空压力表,是一个系统安装版本的压力表。HPM-2002-OBE在紧凑的配置中提供了2002系列的所有性能特点,您可以选择12个信号输出选项。

应用程序
  • 半导体蚀刻
  • 溅射室
  • 装载锁定系统
  • 过程控制和测试
  • 等离子涂层