屡获殊荣的2002系列宽范围,双传感器真空计,有两种安装风格,面板安装或传感器安装。
HPM-2002,双传感器真空仪,是面板安装仪,带有微处理器的显示单元,规格管和互连电缆。两个传感元件(微加工的Pirani和压阻传感器),提供精确的真空测量超过7数十年的压力,从1×10-4到1000托。驻留在微处理器中的算法确保了传感器之间的无缝过渡。HPM-2002-OBE,双传感器真空仪,是一种仪表的系统安装版本。HPM-2002-OBE提供了紧凑的配置中2002系列的所有性能功能,选择了12个信号输出选项。
应用程序
- 半导体蚀刻
- 溅射室
- 加载锁定系统
- 过程控制和测试
- 等离子体涂层